عالية النقاء ميثيل ثلاثي كلورو سيلان

ميثيل ثلاثي كلوروسيلان عالي النقاء (CH₃SiCl₃، CAS 75-79-6) هو سائل عديم اللون ومدخن يتفاعل بعنف مع الرطوبة، ويطلق كلوريد الهيدروجين. يغلي عند درجة حرارة 66.1-66.4 درجة، وهو قابل للذوبان بحرية في المذيبات العضوية اللامائية. باعتباره وسيطًا رئيسيًا في صناعة السيليكون العضوي، يُستخدم MTS عالي النقاء على نطاق واسع لإنتاج راتنجات سيليكون الميثيل، وعوامل اقتران السيلان (على سبيل المثال، ميثيل تريميثوكسيسيلان)، ومادة CVD لأشباه الموصلات والأغشية الرقيقة من SiC، وترسيب تكسية SiO₂ في تشكيلات الألياف الضوئية. متوفر في الدرجة الصناعية (أكبر من أو يساوي 99.0%) ودرجة النقاء العالي (أكبر من أو يساوي 99.9%). مُصنف على أنه متفاعل مع الماء ومسبب للتآكل (UN 2985, Class 4.3+8, PG II)؛ يجب أن يتم التعامل معها تحت حماية النيتروجين الجاف، معزولة بشكل صارم عن الماء والكحول والقواعد.