ثلاثي كلوروسيلان

ثلاثي كلوروسيلان (TCS، SiHCl₃، CAS 10025-78-2) هو سائل عديم اللون شديد التطاير وله رائحة كلوريد الهيدروجين الحادة والخانقة. يغلي عند درجة حرارة 31.8 ويتفاعل بعنف مع الرطوبة، وهو المادة الخام الرئيسية لعملية Siemens لإنتاج البولي سيليكون عالي النقاء- للخلايا الشمسية الكهروضوئية ورقائق أشباه الموصلات. يستخدم TCS أيضًا على نطاق واسع في نمو رقاقة السيليكون الفوقي، وتخليق السيليكون العضوي (زيوت السيليكون، والمطاط، والراتنجات، وعوامل الاقتران)، وترسيب الأغشية الرقيقة للسيليكون CVD، وكعامل اختزال انتقائي في التخليق العضوي. متوفر في الدرجة الصناعية (أكبر من أو يساوي 99.0%) والصف الإلكتروني (حتى نقاء 9N). مُصنف على أنه متفاعل مع الماء وشديد الاشتعال (UN 1295, Class 4.3+2.3, PG I) مع نطاق انفجاري واسع للغاية يتراوح بين 1.2% - 90.5%؛ يتم التعامل معها فقط في ظل الظروف اللامائية تمامًا مع حماية النيتروجين الجاف.